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零配件
上蜡机
1.可加工6-12英寸不同材料的晶圆。

2.尺寸切换方便，只需更换工作台及参数。

3.封闭式上蜡，设备表面更洁净。

4.重复定位精度高。

5.加热冷却盘内部采用精密加热和自动冷却系统，可精确控制盘面温度。

6.贴片后的平整度≤2um。

7.可根据客户要求定制半自动和全自动。

8.适用于各种半导体衬底材料抛光前的贴片。

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清洗机
1.晶圆表面粉尘，杂质专用清洗机器。

2.可更换清洗盘清洗多种产品，根据用户需求定制。

3.PLC自动控制，操作方便快捷。

4.透明防爆前门，安全作业，便于观察。

5.全系统仪表显示，随时监控清洗状况。

6.采用二流体清洗，清洗精度高，对产品零损伤，纯水消耗量极小。

7.标准系统配套有各种清洗能力，化学试剂清洗、刷子清洗、高转速旋转甩干带红外灯烘干和N2吹扫。

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贴膜机
1.适用于蓝膜、UV膜、PET衬底膜和双层膜。

2.贴膜台盘具有加热和弹力自适应功能，可自适应不同厚度的晶圆。

3.特有的贴膜滚轮压力可调设计。

4.配备圆周刀和横切刀。

5.体积小，桌面摆放型。
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UV解胶机
1.小巧的桌面式设计。

2.触摸屏一键式全自动完成解胶。

3.LED冷光源替代传统的高压汞灯,安全性高，热量小，功耗低。

4.晶圆尺寸：6寸、8寸、12寸。

5.操作简单。
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