1.可加工6-12英寸不同材料的晶圆。 2.尺寸切换方便,只需更换工作台及参数。 3.封闭式上蜡,设备表面更洁净。 4.重复定位精度高。 5.加热冷却盘内部采用精密加热和自动冷却系统,可精确控制盘面温度。 6.贴片后的平整度≤2um。 7.可根据客户要求定制半自动和全自动。 8.适用于各种半导体衬底材料抛光前的贴片。
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