1.晶圆表面粉尘,杂质专用清洗机器。 2.可更换清洗盘清洗多种产品,根据用户需求定制。 3.PLC自动控制,操作方便快捷。 4.透明防爆前门,安全作业,便于观察。 5.全系统仪表显示,随时监控清洗状况。 6.采用二流体清洗,清洗精度高,对产品零损伤,纯水消耗量极小。 7.标准系统配套有各种清洗能力,化学试剂清洗、刷子清洗、高转速旋转甩干带红外灯烘干和N2吹扫。
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