1.晶圆表面粉尘,杂质专用清洗机器。 2.可更换清洗盘清洗多种产品,根据用户需求定制。 3.PLC自动控制,操作方便快捷。 4.全系统仪表显示,实时监控清洗状况。 5.采用二流体清洗,清洗精度高,对产品零损伤,纯水消耗量极小。 6.标准系统配套有各种清洗能力,化学试剂清洗、刷子清洗、高转速旋转甩干带红外灯烘干和氮气吹扫。
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